“코너 리소그래피” 검색 결과

Phys.org Quantum · 양자센싱

트벤테대, 피라미드형 SQUID 센서로 양자소재 나노 자기장 이미징 성공

네덜란드 트벤테 대학교 연구팀이 코너 리소그래피 기법을 활용해 실리콘 피라미드 끝에 초전도 SQUID 센서를 집적하는 데 성공했다. 이 센서는 1테슬라 이상의 강자기장 환경에서도 동작하며, 웨이퍼 단위 양산이 가능한 것으로 확인됐다.

5일 전